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非破壊検査/超音波探傷なら電子スキャンシリーズ

計測診断・解析


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日立エンジニアリング・アンド・サービスは、20数年にわたって電子スキャン(フェイズドアレイ)技術と製品を開発しています。検査精度を維持し、従来の検査装置と比較して数十倍の検査速度で高速処理できるのが電子スキャン方式です。

 

電子スキャン(フェイズドアレイ)技術とは

高周波アレイプローブの図解
従来使用されてきたシングルプローブによる探傷は、ひとつの超音波振動子にインパルス電圧を加え、その振動子のサイズや、形状、曲率によって決まる固定の一つの超音波ビームを使用していました。
そのため、検査にはスキャナー等を使用し、超音波振動子を細かく2次元走査していくことが必要で、多大な検査時間を必要としていました。

一方、電子スキャンは、複数の小さな超音波振動子のアレイを使用し、これらの駆動タイミングを電子的に変化させることで、超音波ビームの角度、焦点を自由に制御し、さらにアレイを電子的に切り替えることで高速探傷が可能な技術です。
電子スキャンとメカニカルスキャンを複合することによって、広範囲の被検体を高速・短時間に検査することが可能となります。

 
電子スキャン方式高速超音波解析装置
高周波(25、50、75MHz)のリニアスキャンで高速探傷する水浸超音波探傷装置を製品化しました。
電子スキャン方式超音波探傷インライン全数検査装置
電装部品や半導体、鋼板などの超音波によるインライン全数検査を実現しました。
電子スキャン方式超音波探傷画像表示装置(ES3100)
周波数1〜10MHzの電子スキャン方式超音波探傷の基本装置で、リニアスキャンおよびセクタスキャンで超音波探傷角度と焦点を自由に制御でき、各種方向性を持った欠陥に対する検出性に優れています。また、ES3100をベースにした大型検査システムや応用システムへの拡張性に富んでいます。
電子スキャン方式水浸超音波探傷装置の検査事例
 
 
 

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非破壊検査/超音波探傷なら電子スキャンシリーズ

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