高速探傷が可能な電子スキャン方式（フェイズドアレイ技術）によって超音波探傷のインライン全数検査を実現しました。高速・短時間の検査タクトを要求されるインライン検査に最適な検査装置です。
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圧倒的高速性がインラインの全数検査を可能に |
従来の探傷装置は、シングルプローブによるメカニカルスキャンのため、スキャニングに時間を要します。そのため、新規開発時の観察や出荷前抜き取り検査、不具合品の解析といった評価用に超音波探傷が適用されています。
しかし、電子スキャンでは、IC（半導体集積回路）や各種電子部品の評価用に適用することはもちろん、圧倒的な高速性によって大量のデバイスを全数検査することが可能になりました。
初期設定した条件で合格／不合格（OK／NG）の判定処理をし、出荷品の品質確保を支援します。 |
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インラインによる高速超音波解析装置の検査事例 |
高速超音波解析装置では、検査品のロード、アンロードといったハンドリンク機構を構築してインライン全数検査への適用が可能です。
検査体を個別ID化して探傷データを収録・保存することで、不合格品（NG品）の傾向、生産ロットごとの割合、その他統計処理により解析・評価方法が広がり、品質改善を支援します。
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インライン検査装置の例
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広がる用途・適用分野 |
LSI半導体パッケージ、チップコンデンサーなどの電子部品内部の剥離や鉄鋼材料内の異物・微小介在物・不溶着物の検査、自動車電装部品などのクラック、ボイドの探傷・評価、ターゲット材、高分子材料、セラミックおよび各種複合材料、その他新素材品開発における評価解析などに有効です。
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インライン検査装置システム構成 |
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