電子スキャン方式高速超音波解析装置

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周波数75MHzの高周波探傷を実現！

電子スキャン方式では、最大75MHz（公称周波数）の高周波探傷を実現した水浸超音波探傷装置であり、高精度な超音波解析評価を提供します。 剥離、クラック、ボイドなどの欠陥や介在物、不溶着物などの微小異物の検出を短時間に行います。

検査スピードが60倍！電子スキャン方式ならではの高速探傷と技術

電子スキャンアレイプローブによって、従来に比べて格段の高速化が図れ、検査精度は維持し、高速・短時間に検査を行うことが可能となりました。例えば30mm角の半導体を100μmピッチでスキャンした場合、約4秒で探傷が終了します。 これは、メカニカルスキャン（シングルプローブ）と比較すると約60倍の速さになります（当社比）。

高周波75MHzアレイプローブ

電子スキャン技術では、深さ方向の微小領域のCスコープを高速表示し、反射エコー強度の分布、深さの分布を確認することができます。また、リアルタイムBスコープ表示とともにAスコープ波形表示で検査体の内部状況の観察に威力を発揮します。

Cスコープ画像例

Aスコープ・Bスコープ画像例

多様な角度からの解析・評価が可能

電子スキャン方式の特長は、検査速度だけではありません。
メカニカルスキャン1回分の探傷時間で検査数量が約60倍になること、反対に1個の検査体に対して探傷条件を変えてデータをいくつも採取できること、その探傷データをリアルタイム画像として表示できることも大きな特長です。
つまり、データのサンプリングが多い分、多様な角度からの解析・評価が可能となります。

多彩な表示機能

超音波の焦点および観察深さを順次移動させ、平面画像を高速にサムネイル表示できます。 探傷データは、A・B・Cスコープ表示以外に、ビーム路程値表示やワイヤーフレーム表示、ヒストグラム表示、さらにオプションで3D表示機能を有しています。

システム構成と主な仕様

プローブ 25MHz、50MHz、 75MHz スキャナー X,Y,Z軸駆動 水槽上下機構付き 収録・ 処理部 A,B,Cスコープ画像表示、 面積率、 任意Aスコープ表示 他 解析機能 自動焦点移動 評価用ゲート自動可変 3Dデータ表示 他 ワーク寸法 300mm×200mm×50mm以下

電子スキャン方式高速超音波装置の開発物語

本装置は、IC（半導体集積回路）や各種電子部品の内部、または鋼板の微細きず等を高精細、高速に検査する超音波画像表示装置を実現するために開発しました。

*	本資料は、日本工業出版株式会社技術誌「検査技術」2004年5月号の記事の元原稿です。 本資料は本装置開発当初に執筆されたものであり、現在の最大周波数とは異なっています。

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電子スキャン方式高速超音波解析装置のインライン検査例

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