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株式会社 日立エンジニアリング・アンド・サービス

Hitachi

超音波映像装置FineSAT 概要・特長

工業部品の測定・解析がさらに高速で高精度に

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超音波映像装置FineSAT

超音波映像装置FineSATは、半導体、電子部品、セラミック、金属、樹脂などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、 超音波を使って非破壊で映像化する装置です。超音波が音響インピーダンスの異なる材料に当たると反射する原理を応用しており、 X線装置や光学顕微鏡では検出することができないナノオーダの隙間を検出することができます。 本装置は、高速自動測定、自動判定機能と各種解析ソフトが充実していることから、多量検査から研究・開発まで幅広い用途で活用されています。

対象・適用分野

  • CSPのバンプ接合、アンダーフィルボイド検査
  • 樹脂のフィラ観察、流動観察検査
  • 電子部品、セラミックス部品の層間、クラック検査
  • シリコンウェーハ貼り合わせ界面検査
  • 金属部品ロウ付け部の剥離、ボイド検査
  • 車載半導体、金属製品の接着界面のボイド検査

主な特長

設定から計測、解析、評価まで、ユーザフレンドリーな機能が、 高精度でスピーディな大量検査を実現します。

従来の約135%の速度で探傷画像データの高速画像化を実現

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オリジナル画像処理ユニットおよび高速・高精度スキャナ(最高速度:1,000mm/s、最小ピッチ:0.5μm)の採用によって、 再現性の高い探傷画像データを最大約135%の速度で表示*1。評価サンプルの試験時間を大幅に改善することができます。

*1
当社30mm角ICとの比較

透過法と反射法の併用で同時に探傷が可能

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超音波探傷法の反射法と透過法を同時に探傷することができるとともに、おのおのの探傷法において探傷条件 (感度、ゲート)を設定して探傷および画像化が行えます。

豊富な解析用ソフトを標準装備

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最大64個のゲート設定機能において、各ゲート内の探傷データの一括保存が可能となりました。

超音波映像装置テストルームご利用案内

超音波映像装置

当社では、超音波映像装置のテストルームを東京と大阪に開設しています。 お客様からお預かりした製品のサンプルテストを行い、「この剥離やボイドは見えないか。」 「検査装置の導入を検討するため一度デモを見てみたい。」などのご質問に速やかにお応えします。 どうぞお気軽にご利用ください。

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